製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
PS−J
PS−L
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ATOPS
ナノセンサ
PM−E
PM−S
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OTF測定装置
OTF検査装置
OTF測定サービス
ウェーハID読みとり光学系
MIEZOH MARKL
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
ATOPSは、
独自の光ファイバーアレンジにより、測定物の反射率変化の影響を除去し、超高分解能と
高速応答性を実現させた差動型の光ファイバー変位計です。SPMのカンチレバ−変位測定・圧電素
子応用製品の変位計測・ナノインデンテ−ションの変位計測・ハードディスクヘッドの振動解析など微少
変位・高速計測に最適。測定ヘッドが小さく,透明体の測定にも対応可能です
nmの超高分解能を実現
測定物の反射率変化の影響を除去
最高1MHz(オプション)の高速応答性を実現
差動型ファイバー方式により作動距離の拡大
透明体の計測に対応
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