ホーム製品情報展示会情報会社情報決算公告お問い合せ
製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
PS−L
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ATOPS
ナノセンサ
PM−E
PM−S
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OTF測定装置
OTF検査装置
OTF測定サービス
ウェーハID読みとり光学系
MIEZOH MARKL
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
特徴仕様アプリケーション測定原理カタログ



形式
ATW-01
方式
直流増幅タイプ
応答性(Hz):設定応答周波数
100、1K、10K、100K(1Mオプション)
可変倍率
1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍
表示
4 1/2桁デジタル電圧表示
アナログ出力
±10VDC
電源電圧
AC 90〜110V 50/60Hz
使用環境
0〜45℃ 20〜85%RH(結露なきこと)


モジュールNO.
ATP-A20
ATP-B20
ATP-C20
ATP-C05
光源
半導体レーザー(λ=840nm)
ファイバー長
1m
先端プローブ外径(mm)
1.2
プローブ先端使用温度
0〜150℃(高温仕様オプション:320℃)
測定スポット径(mm)
0.1
0.4
0.9
0.9
測定範囲(μm)
20
50
130
300
作動距離(μm)
80
150
500
1000
基本感度(μm/V)
2
5
13
30


倍率
ATP-A20
ATP-B20
ATP-C20
ATP-C05
×1
1.6 7 13 30
×2
0.8 3.5 6.5 15
×5
0.3 1.4 2.6 6
×10
0.16 0.7 1.3 3
×20
0.08
0.35
0.65
1.5
×50
0.03
0.14
0.26
6

[ Page Top ]