| 2002年 6月 |
光・ナノテクノロジー技術による産業用製造機械・検査機の応用製品の製造・販売を目的として、新潟県長岡市に（株）フォトニクスの100%子会社として資本金10百万円で設立 |
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| 8月 |
半導体ウエハーの平坦度およびナノトポグラフィ（局所的なナノメートルオーダーの凹凸）検査装置（製品名：ダイナサーチ）の製造を目的として、長岡市下々条工場内にダウンフロータイプクリーンルームを設置 |
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| 11月 |
東京都狛江市に東京技術センターを開設
シリコンウエハーの製造シリアル番号等を読み出す
ID認識装置MIEZOH-MK｣の製造・販売を開始 |
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| 2003年 1月 |
株主割当により100百万円増資、資本金が110百万円となる |
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| 3月 |
ダイナサーチの販売を開始 |
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| 4月 |
東京都杉並区へ本社移転
第三者割当により48百万円増資、資本金が158百万円となる |
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| 5月 |
第三者割当により15百万円増資、資本金が173百万円となる |
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| 7月 |
（株）フォトニクスの会社分割により同社に対し株式10,000株発行。同社実施の事業移管のための会社分割に応じ、分割事業の光計測事業、精密計測事業（長野工場（長野県長野市）含む：ISO-9001平成13年12月取得済）を当社が承継し、承継資産に見合う価額の株式を発行、同社に引き渡した |
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| 2004年 5月 |
レンズ性能検査装置（MTF検査装置）M−Proの製造・販売を開始 |
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| 6月 |
ダイナサーチの事業部門を売却 |
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| 7月 |
光通信用受動部品の検査装置であるコンポーネントスペクトラムアナライザの国内総販売代理店契約を、米国dBmOptics社と締結（同契約は、平成17年6月解消） |
| 東京都大田区へ本社移転 |
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| 12月 |
（株）WAVE（親会社の子会社）の情報機器事業を、会社分割により当社が承継し、（株）WAVEの株主に対し、承継資産に見合う価額の株式7,070株を発行し引き渡した
大阪市中央区に大阪営業所を開設 |
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| 2005年10月 |
大阪府大阪市阿倍野区に大阪営業所移転 |
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| 2006年 7月 |
証券会員制法人札幌証券取引所
アンビシャス市場に株式を上場
資本金が286百万円となる |
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| 2007年 2月 |
東京都港区へ本社移転 |
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| 4月 |
長野工場増棟稼働開始 |
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| 7月 |
新規事業開発部の新設。情報機器事業部を廃止し、その業務を新規事業開発部に移管する |
| 8月 |
センソファー社製品 三次元測定顕微鏡取扱い開始 |
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| 2008年 9月 |
大阪営業所を廃止し営業拠点を本社に集中 |
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| 12月 |
ユニパルス株式会社が親会社となる |
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| 2009年 3月 |
ユニパルス（株）による（株）ナノテックス完全子会社化に伴い、株式交換を行い、札幌アンビシャス市場において上場廃止 |
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| 6月 |
新規事業開発部を情報機器事業部に変更 |
| 2010年 6月 |
東京都中央区へ本社移転 |
