製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
PS−J
PS−L
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ATOPS
ナノセンサ
PM−E
PM−S
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OTF測定装置
OTF検査装置
OTF測定サービス
ウェーハID読みとり光学系
MIEZOH MARKL
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
独自の光学系を採用し、プロセスで劣化したウェーハ表面にレーザーマーキング(またはフォトエッチング)された英数字、2Dコード、バーコードなど、通常読み取ることの出来ないIDを高い識字率で読み取ることができるID読み取り装置です。
各社OCRソフトウェアと弊社照明光学系モジュールMIEZOH MARKIIIの構成で機能します。英数字以外のノイズ成分を除去するレンズ系と3種類の光束をミキシングした照明系により、最適の取り込み画像をビジョンエンジンに提供します。
省スペースでのシステム構築
低価格での商品提供
独自開発の光学系でノイズ成分を除去し最適の取込をします
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