 製品ラインナップ |
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SYSTEM COMPONENTS |
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センサ
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標準5台。（オプションで１～9台） 8bitアナログCCDカメラ
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ターゲット
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十字タイプ・カスタムスリット 最大9位置
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光源
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150W ファイバ光源 |
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位置決め
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M-Proソフトによる自動制御
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Z:フォーカス
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1軸モーターステージ 精度=±1μm ストローク=100mm
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X-Y:フィールドステージ
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2軸モーターステージ 精度=±2.5μm ストローク=150mm
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レンズトレイ
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カスタムメイドレンズホルダ。レンズセット数量≒１～50個
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対応OS
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Windows2000/XP 日本語版、英語版
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ソフトウェア
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Matrix M-Pro Software for Windows
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SPECIFCATION |
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テストレンズタイプ
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無限遠測定
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焦点距離領域
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1.5 ～ 50mm
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テストレンズアパーチャ
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1 ～ 100mm |
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検査項目
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ＭＴＦ （オプション;PTF, ＥＦＬ, Ｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ）
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空間周波数領域
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0 ～ 250 lps/mm
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軸外検査範囲
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100 % Field of View
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MTF 検査精度
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±3 % （Matrix-Plus ＭＴＦ測定装置を基準とする）
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MTF 検査繰り返し精度
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±1 %
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システムスピード
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<3 sec per. 9 MTF Point Test
実施例： 1個当り5秒未満。 実施条件は、
1トレイ32個の検査、Fail
1個発生で検査開始からトレイ着脱作業完了までの作業。
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