OTF測定サービス

製品ラインナップ

	静電容量方式非接触微小変位計
		ＰＳ－Ⅰ
		ＰＳ－Ⅲ

	光ファイバー方式非接触レーザー変位計
		ＡＴＯＰＳ
		ナノセンサ
		ＰＭ－Ｅ
		ＰＭ－Ｓ

	微小位置決めシステム
		ピエゾサーボステージ

	レンズ評価装置
		OＴＦ測定装置
		OＴＦ検査装置
		OＴＦ測定サービス

	ウェーハＩＤ読みとり光学系
		MIEZOH MARKⅢ

	情報通信装置
		高速データ伝送装置
		画像伝送装置

	分光計
		マイクロスペクトロメ-タ-

	アライメントシステム
		オ-トコリメ-タ(光電式)
		オ-トコリメ-タ(目視式)
		アライメントコリメ-タ
		アライメントテレスコ-プ

	検針器
		ハンディタイプ検針器

　

	英国MTF標準企画を満たしている装置でのOTF(MTF,PTF)測定
	非点収差・像面特性・軸上色収差など（ＭＴＦ測定データから収差カーブ作成）
	スルーフォーカス測定（軸上、軸外）。