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 製品ラインナップ |
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| 測定対象面に対し光ファイバーを用いて光を投射する光反射方式を採用しています。投射した光は反射して同じプローブを通って電気信号に変換されます。光量は反射面からファイバー端面までの距離と共に図（C）のように変化します。使用するプローブによってそれぞれ一定の変位対出力の特性が得られます。特性はどのプローブもフロントスロープ及びバックスロープと呼ばれるリニアな範囲と光学ピークと呼ばれる部分をもっています。フロントスロープは微小な変位を高感度で測定する場合に最適で、バックスロープは比較的大きな変位を測定する場合に用います。光学ピークは一定の変位量を無視して測定対象面の表面状態や欠陥検出を行う場合に用いられます。さらに高い空中分解能と低いFナンバーを有する対物レンズを併用し焦点を結ばせることにより位置決めセンシング、遠距離測定などにも応用できます。 |
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