製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
ＰＳ－Ⅰ
ＰＳ－Ⅲ
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ＡＴＯＰＳ
ナノセンサ
ＰＭ－Ｅ
ＰＭ－Ｓ
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OＴＦ測定装置
OＴＦ検査装置
OＴＦ測定サービス
ウェーハＩＤ読みとり光学系
MIEZOH MARKⅢ
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
精密モータシャフトなどの回転体のランアウトや振動モードの測定
PZTの変位計測
ウエハーのキズ検出
超音波溶接機チップの振動測定
自動位置決めセンサーとしての応用
測定例：
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