製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
ＰＳ－Ⅰ
ＰＳ－Ⅲ
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ＡＴＯＰＳ
ナノセンサ
ＰＭ－Ｅ
ＰＭ－Ｓ
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OＴＦ測定装置
OＴＦ検査装置
OＴＦ測定サービス
ウェーハＩＤ読みとり光学系
MIEZOH MARKⅢ
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
マルチチャンネル化に伴い、多点・多軸測定の簡易化を図ると同時にコンパクト化や、１チャンネルあたりのコスト低減を実現した汎用的な測定システムです。
完全非接触で振動、変位、表面状態などの計測に幅広く利用できます
用途、場所、精度に応じてプローブを選択できるプラグイン方式を採用しています
電磁ノイズに強く、微小スポット測定が可能です
低価格でメンテナンスが容易かつ迅速に行えます
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