製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
ＰＳ－Ⅰ
ＰＳ－Ⅲ
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ＡＴＯＰＳ
ナノセンサ
ＰＭ－Ｅ
ＰＭ－Ｓ
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OＴＦ測定装置
OＴＦ検査装置
OＴＦ測定サービス
ウェーハＩＤ読みとり光学系
MIEZOH MARKⅢ
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
応答性
100Hz,1K,10K,100KHz
アナログ出力
0～10VPC
電源電圧
AC100V 50/60Hz
外径寸法
PM-S1 240W×90H×235D（mm）
PM-S2 430W×140H×300D（mm）
PM-S3 430W×199H×300D（mm）
PM-S4 430W×199H×300D（mm）
光源
タングステン
プローブ全長
1ｍ
曲げ加工
（特注）
高温用プローブ
耐温性320℃（特注）
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