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精密計測機器

オートコリメーター(光電式)

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高い安定性と理論上到達可能な分解限界まで進化した世界最高水準の光電式2軸オートコリメーターです
特徴 仕様 測定原理 アプリケーション ディスプレイユニット アクセサリ 測定原理
世界最高水準の光電式2軸オートコリメーターです。
   
PDF オートコリメータ総合カタログ(1.4MB)
 
PDF 真直度・直角度演算ソフト NanoWIN カタログ(0.1MB)
 
PDF 回転軸誤差自動測定ソフトカタログ(0.1MB)
         
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特徴

2軸の測定データを同時に表示可能 Zerodur製の超安定構造(ELCOMAT-HR)
システム構成を柔軟に対応可能 操作性に優れた電子アイピース

仕様

ELCOMATシリーズ一覧
ELCOMAT-HR ELCOMAT 3000
vario 500T/65 vario 500/65
vario 300/65 vario 500/40
vario 300/40 vario 200/40
 
vario 140/40
 
型式 ELCOMAT-HR ELCOMAT 3000
型番 229-923 229-919
精度 10″レンジ:±0.01″ 20″レンジ:±0.1″
40″レンジ:±0.02″
全レンジ:±0.03″ 全レンジ:±0.25″
測定レンジ (X) ×(Y) 300″×300″(4mまで)
2000″ × 2000″ (2.5mまで)  
1770″ × 1770″ (3mまで)  
1320″ × 1320″ (4mまで)  
1030″ × 1030″ (5mまで)  
850″ × 850″ (6mまで)  
730″ × 730″ (7mまで)  
640″ × 640″ (8mまで)  
570″ × 570″ (9mまで)  
510″ × 510″ (10mまで)  
340″ × 340″ (15mまで)  
260″ × 260″ (20mまで)  
取込範囲 1200″ 3600″
測定可能軸 2軸同時 2軸同時
分解能 0.005″ 0.005″
繰り返し精度 0.01″ 0.05″
焦点距離 1100mm 300mm
光源波長 660nm 660nm
光源 LED LED
最大作動距離 4m 25m
最低ミラー直径
(コーティング /
ノーコーティング)
φ12.5mm/φ40mm φ5mm/φ6mm
コリメータレンズの
有効径
50mm 50mm
光軸の高さ 92mm 100mm(オプション:223-056装着時)
62mm(オプション:223-037装着時)
標準インターフェース USB,RS-232C USB,RS-232C
電源 AC90-220V 50/60Hz AC90-220V 50/60Hz
外形寸法 488D×141W×218H mm 420D×95W×135H mm
バレル径 NA φ65mm
ディスプレイユニット
外形寸法
208H×230W×48D mm 208H×230W×48D mm
センサー部重量 12.2Kg 3.8Kg
ディスプレイ部重量 1.2Kg 1.2Kg
 
型式 vario 500T/65 vario 500/65
型番 229-808 229-807
精度 ±0.4″ ±0.4″
測定レンジ (X) ×(Y)
1440″ × 1140″ (4mまで)  
1380″ × 1140″ (5mまで)  
1040″ × 1120″ (6mまで)  
860″ × 920″ (7mまで)  
700″ × 800″ (8mまで)  
600″ × 640″ (9mまで)  
520″ × 540″ (10mまで)  
360″ × 380″ (12mまで)  
1440″ × 1140″ (4mまで)  
1380″ × 1140″ (5mまで)  
1040″ × 1120″ (6mまで)  
860″ × 920″ (7mまで)  
700″ × 800″ (8mまで)  
600″ × 640″ (9mまで)  
520″ × 540″ (10mまで)  
360″ × 380″ (12mまで)  
取込範囲 測定レンジ 測定レンジ
測定可能軸 2軸同時 2軸同時
分解能 0.005″ 0.005″
繰り返し精度 0.05″ 0.05″
焦点距離 500mm 500mm
光源波長 660nm 660nm
光源 LED LED
最大作動距離 12m 12m
最低ミラー直径
(コーティング /
ノーコーティング)
φ8mm/φ20mm φ6mm/φ16mm
コリメータレンズの
有効径
50mm 50mm
光軸の高さ 100mm(オプション:223-056装着時)
62mm(オプション:223-037装着時)
標準インターフェース USB,RS-232C USB,RS-232C
電源 AC90-250V 50/60Hz AC90-250V 50/60Hz
外形寸法 473D×78W×70H mm 655D×78W×70H mm
バレル径 φ65mm φ65mm
ディスプレイユニット
外形寸法
208H×230W×48D mm 208H×230W×48D mm
センサー部重量 3.2Kg 4Kg
ディスプレイ部重量 1.2Kg 1.2Kg
 
型式 vario 300/65 vario 500/40
型番 229-806 229-805
精度 ±0.8 ±0.4″
測定レンジ (X) ×(Y)
2520″ × 1800″ (2mまで)  
1700″ × 1800″ (2.5mまで)  
1700″ × 1700″ (3mまで)  
1260″ × 1260″ (4mまで)  
970″ × 970″ (5mまで)  
770″ × 770″ (6mまで)  
640″ × 640″ (7mまで)  
540″ × 540″ (8mまで)  
390″ × 390″ (9mまで)  
300″ × 300″ (10mまで)  
1440″ × 1140″ (2mまで)  
1240″ × 1140″ (3mまで)  
880″ × 940″ (4mまで)  
640″ × 700″ (5mまで)  
480″ × 560″ (6mまで)  
380″ × 440″ (7mまで)  
300″ × 340″ (8mまで)  
260″ × 300″ (9mまで)  
200″ × 240″ (10mまで)  
取込範囲 測定レンジ 測定レンジ
測定可能軸 2軸同時 2軸同時
分解能 0.005″ 0.005″
繰り返し精度 0.1″ 0.05″
焦点距離 300mm 500mm
光源波長 660nm 660nm
光源 LED LED
最大作動距離 10m 10m
最低ミラー直径
(コーティング /
ノーコーティング)
φ6mm/φ16mm φ6mm/φ16mm
コリメータレンズの
有効径
50mm 28mm
光軸の高さ 100mm(オプション:223-056装着時)
62mm(オプション:223-037装着時)
標準インターフェース USB,RS-232C USB,RS-232C
電源 AC90-250V 50/60Hz AC90-250V 50/60Hz
外形寸法 473D×78W×70H mm 655D×70W×70H mm
バレル径 φ65mm φ40mm
ディスプレイユニット
外形寸法
208H×230W×48D mm 208H×230W×48D mm
センサー部重量 2.8Kg 2.5Kg
ディスプレイ部重量 1.2Kg 1.2Kg
 
型式 vario 300/40 vario 200/40
型番 229-804 229-803
精度 ±0.8″ ±1.5″
測定レンジ (X) ×(Y)
2520″ × 1800″ (1mまで)  
1444″ × 1444″ (2mまで)  
962″ × 962″ (3mまで)  
722″ × 722″ (4mまで)  
578″ × 578″ (5mまで)  
420″ × 420″ (6mまで)  
300″ × 300″ (7mまで)  
240″ × 240″ (8mまで)  
180″ × 180″ (9mまで)  
140″ × 140″ (10mまで)  
3760″ × 2520″ (0.7mまで)  
3610″ × 2520″ (0.8mまで)  
3200″ × 2520″ (0.9mまで)  
2880″ × 2520″ (1mまで)  
1400″ × 1400″ (2mまで)  
700″ × 700″ (3mまで)  
400″ × 400″ (4mまで)  
200″ × 200″ (5mまで)  
取込範囲 測定レンジ 測定レンジ
測定可能軸 2軸同時 2軸同時
分解能 0.005″ 0.005″
繰り返し精度 0.1″ 0.2″
焦点距離 300mm 200mm
光源波長 660nm 660nm
光源 LED LED
最大作動距離 10m 5m
最低ミラー直径
(コーティング /
ノーコーティング)
φ5mm/φ10mm φ5mm/φ10mm
コリメータレンズの
有効径
28mm 28mm
光軸の高さ 100mm(オプション:223-056装着時)
62mm(オプション:223-037装着時)
標準インターフェース USB,RS-232C USB,RS-232C
電源 AC90-250V 50/60Hz AC90-250V 50/60Hz
外形寸法 453D×70W×70H mm 352D×70W×70H mm
バレル径 φ40mm φ40mm
ディスプレイユニット
外形寸法
208H×230W×48D mm 208H×230W×48D mm
センサー部重量 1.9Kg 1.5Kg
ディスプレイ部重量 1.2Kg 1.2Kg
 
型式 vario 140/40
型番 229-802
精度 ±2″
測定レンジ (X) ×(Y)
5900″ × 4180″ (0.3mまで)  
5600″ × 4180″ (0.4mまで)  
5040″ × 4180″ (0.5mまで)  
4600″ × 4180″ (0.6mまで)  
4040″ × 4180″ (0.7mまで)  
3400″ × 3820″ (0.8mまで)  
2960″ × 3350″ (0.9mまで)  
2660″ × 3080″ (1mまで)  
990″ × 1240″ (2mまで)  
490″ × 640″ (3mまで)  
取込範囲 測定レンジ
測定可能軸 2軸同時
分解能 0.005″
繰り返し精度 0.3″
焦点距離 140mm
光源波長 660nm
光源 LED
最大作動距離 3m
最低ミラー直径
(コーティング /
ノーコーティング)
φ4mm/φ6mm
コリメータレンズの
有効径
28mm
光軸の高さ 100mm(オプション:223-056装着時)
62mm(オプション:223-037装着時)
標準インターフェース USB,RS-232C
電源 AC90-250V 50/60Hz
外形寸法 297D×70W×70H mm
バレル径 φ40mm
ディスプレイユニット
外形寸法
208H×230W×48D mm
センサー部重量 1.3Kg
ディスプレイ部重量 1.2Kg

測定原理

アプリケーション

平面度計測:
大きな平面表面精度1μm/m。例として金属、グラナイト定盤、光学テーブル等
直角性計測:
コントロール・フレームの直角検査、作業台へのスピンドル軸計測、スピンドルと搬送台の移動など、精度は0.5μm/m(0.1″)
 
平行性計測:
ガイドの方向、ゲージブロック、グラナイトの平行性、ロール、スピンドルなどで長さは25mまで、精度は0.5μm/m(0.1″)まで
ロータリー・テーブルの位置決め角度の計測:
ポリゴンミラー計測では、精度0.1″までの絶対計測
小さい角度の高精度計測:
オートコリメータの校正、ポリゴンミラー、プリズムの計測等。
光学素子のアライメント、光軸の調整、光学表面の平行度、直角度の計測

ディスプレイユニット

外観図
ディスプレイユニット
リアルタイムで角度表示 STOREデータの
テーブル表示
リアルタイムでX,Y軸の
情報表示
度表示
度表示 度分秒表示 microns per meter 表示 ミリラジアン表示

アクセサリ

品名
 ドイツPTB検定証 ELCOMAT-HR 2軸  ドイツPTB検定証 ELCOMAT-HR 1軸
 ドイツPTB検定証 ELCOMAT 3000
型番 : 219-757 型番 : 223-056
レーザーアタッチメント D65 アジャスターブルホルダーD65
型番 : 223-037 型番 : 223-082
クランプフィックスチャ D65 三脚 (D65取付アダプタプレート付き。
高さ調整:630 - 1320mm)
   
型番 : 223-271 型番 : 223-262
(ミラーマウント両面+ベース100+
ストップバー)
ミラーマウント両面(ミラーのみ)
型番 : 223-260 型番 : 223-282
ミラーマウント片面(ミラーのみ) マグネチックベース(ベースのみ)
   
型番 : 223-264 型番 : 205-307
ベース100(ベースのみ) ポリゴンミラー 8面体、2"精度
型番 : 223-269 型番 : 205-313
ストップバー(ペンタゴンプリズム用
フィクスチャーとベース100に取り付け可能)
ポリゴンミラー 12面体、2"精度
型番 : 221-015 型番 : 221-023
2"取付ペンタゴンプリズム (プリズムのみ) ペンタゴンプリズム ホルダー
(エルコマット本体に取付)
型番 : 221-027
ペンタゴンプリズム用フィクスチャー(ストッパーなし)
 

専用ソフト

測定データから真直度や直角度を自動で演算するソフトウェア。 シリアル通信を介して、CNCへの指令信号出力と測定信号入力を行うことにより、自動で回転軸誤差の測定が可能。
 NanoWIN  回転軸誤差自動測定
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