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精密計測機器
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三次元形状測定装置
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オートコリメータ(光電式)
アライメントテレスコープ

ハンディタイプ検針器

精密計測機器

製造技術の最先端で、ナノの世界をリードします 精密計測機器一覧
デジタル化の進展に伴って、デジタル機器の製造技術はナノレベルの微細化にしのぎを削っています。最先端機器の開発に、そして機器の製造・検査に、精密に計測する技術は不可欠です。デジタル時代の主役を演じる半導体・液晶・ハードディスクなどの製造装置や検査装置には、ナノテックスの精密計測機が組み込まれています。独自の技術による静電容量方式で、高安定性と高分解能を実現した汎用型計測機として幅広く採用されており、今後一層活躍の場を拡げていくでしょう。また、光ファイバー方式による超高分解能の計測機は、主に研究開発用としてさらに高精度のニーズに応えます。
微細化の最先端に立ち、常にクライアントのニーズを的確に捉えた製品で技術開発に貢献することが、当社の使命です。

精密計測機器一覧

PS-T
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高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計
PS-V
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高安定・高分解能・汎用性を実現したマルチチャンネルタイプの超精密非接触変位計
ATOPS
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ナノメートル変位計測を実現した光ファイバー方式非接触微小変位計
PM-E
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シンプルかつお求め安い価格で高精度に振動、変位の計測が可能な光ファイバー方式非接触微小変位計
三次元形状測定装置
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デュアルモード光学系を採用により1台で干渉計と共焦点方式が測定可能な三次元形状測定装置
PM-E
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楕円焦点法とオリジナリティーの高い光学系を採用し、測定対象物の表面粗さに強いレーザー変位計
オートコリメータ(光電式)
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真直度や平面度の測定に最適な世界最高水準の光電式2軸オートコリメータ
アライメント・テレスコープ
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様々な距離のターゲットにフォーカスでき、基準線に対する偏差を測定
ハンディタイプ検針器
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独自開発のセンサ技術を用いて、高い検出力を実現させた、ハンディタイプの検針器
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