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特徴 仕様 測定原理
PSセンサは、独自の技術による静電容量測定方式を採用し、高安定・高分解能(フルスケールの±0.05%)、汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられコストパフォーマンスを追及した汎用型変位計として高い評価を得ております。研究開発分野kら半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を得ております。
PDF レーザーヘッドWT307シリーズカタログ(164KB)
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特徴

既存測長システムへの導入可能
高出力および長寿命
波長安定度に優れている
電源投入時から短時間で安定化

仕様

波長 632.8nm(赤色)
出力光量 最大750μW〜最小180μW
ビーム直径 6mm(代表値)
ウォームアップ時間 15分未満(実質10分程度)
波長安定性 ±0.002ppm(1hour),±0.02ppm
参照信号周波数 1.2〜1.7MHz(WT307A), 1.9〜2.4MHz (WT307B),
2.4〜3.0MHz(WT307C)
供給電源 L+15V±0.3V(最大2.0A)
−15V±0.3V(最大0.03A)
使用環境 15〜40℃
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