半導体レーザ（LD)から射出した光は、コリメート され対物レンズ（L1)によって、測定対象物表面に フォーカスされます。測定対象物表面にレーザーのピントが合っている場合には、測定対象物表面で反射した光は、対物レンズに入射して再び平行光となり、L2で集光され、2分割フォトダイオードに入射します（A)。
この焦点に図のようなナイフエッジを挿入すると、 2分割度とダイオードの受光量が測定対象物の位置 （高さ）により高感度に変化します。 B系統は、誤差要因となるスペックル干渉によるフ ォトダイオードの照度分布のばらつきを補正する役 割を果たします