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■ 完全非接触で振動、変位、表面状態などの計測に幅広く利用できます ■ 用途、場所、精度に応じてプローブを選択できるプラグイン方式を採用しています ■ 電磁ノイズに強く、微小スポット測定が可能です ■ 低価格でメンテナンスが容易かつ迅速に行えます このページのトップへ アンプユニット 応答性 100Hz,1K,10K,100KHz アナログ出力 0〜10VPC 電源電圧 AC 100V　50/60Hz 外径寸法 PM-S1 240W×90H×235D（mm） PM-S2 430W×140H×300D（mm） PM-S3 430W×199H×300D（mm） PM-S4 430W×199H×300D（mm） センサモジュール 光源 タングステン プローブ全長 1m 曲げ加工 （特注） 高温用プローブ 耐温性320℃（特注） このページのトップへ ■ 精密モータシャフトなどの回転体の ランアウトや振動モードの測定 ■ PZTの変位計側 ■ ウエハーのキズ検出 ■ 超音波溶接機チップの振動測定 ■ 自動位置決めセンサーとしての応用 ■ 透明体の測定物への適用 このページのトップへ 測定対象面に対し光ファイバーを用いて光を投射する光反射方式を採用しています。投射した光は反射して同じプローブを通って電気信号に変換されます。光量は反射面からファイバー端面までの距離と共に図（C）のように変化します。使用するプローブによってそれぞれ一定の変位対出力の特性が得られます。特性はどのプローブもフロントスロープ及びバックスロープと呼ばれるリニアな範囲と光学ピークと呼ばれる部分をもっています。フロントスロープは微小な変位を高感度で測定する場合に最適で、バックスロープは比較的大きな変位を測定する場合に用います。光学ピークは一定の変位量を無視して測定対象面の表面状態や欠陥検出を行う場合に用いられます。さらに高い空中分解能と低いFナンバーを有する対物レンズを併用し焦点を結ばせることにより位置決めセンシング、遠距離測定などにも応用できます。