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特徴 仕様 アプリケーション センサプローブ 測定原理 カタログPDF
PSセンサは、独自の技術による静電容量測定方式を採用し、高安定・高分解能(フルスケールの±0.05%)、汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられコストパフォーマンスを追及した汎用型変位計として高い評価を得ております。研究開発分野kら半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を得ております。
複数チャンネルを1台の筐体にまとめ、AC100Vで動作し、各種機能を 盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。
PDF PSセンサ総合カタログ(4.2MB)
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特徴

 RoHS指令対応  鉛フリー
 導体であれば材質により感度が変わらない  表面粗さの影響を受けない
 高精度・高安定  センサ形状の柔軟性
 出力オフセット機能  豊富なオプション

仕様

形式 PS-V
測定レンジ 各プローブ欄をご参照下さい
出力 0-10V、+10-0V、0-5V、-10-10V
周波数特性 DC-100Hz、DC-1kHz
DC-5KHz、DC-10kHz
分解能 各プローブ欄をご参照下さい
ノイズレベル DC-100Hz時:0.1mVrms以下
DC-1kHz時:0.2mVrms以下
使用温度範囲 10-40℃(アンプ)
電源 AC100V(50/60Hz)

外形寸法
形式 PS-V-3N PS-V-2D PS-V-5N PS-V-4D
出力端子 BNC×3 BNC×2 BNC×5 BNC×4
寸法(mm) 186W×152H×316D 257W×152H×316D
重量(kg) 3.5 3.6 4.1 4.0
表示器 なし あり なし あり
PS-Vの型式は以下のように決定します。
アンプ形式   チャンネル数 表示器の有無
PS-V   2以上 表示器有り・・・D
表示器なし・・・N
4チャンネル表示器付きの場合
PS-V - 4 D

アプリケーション

アプリケーション例
ガラス表面形状測定システム
各種ディスクの厚み・平面度測定
精密モータのランアウト測定
特殊モータの浮上量測定
スピンドルのランアウト測定
半導体マスクのアライメント
ピエゾ素子の閉ループ制御
位置決め制御(nmレベル)
ブレーキの磨耗試験
エアレーション計測
油圧・空圧の計測
隙間測定(薄膜プローブ)対応
真空内の変位計測
熱変位計測システム
   ete...
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