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プローブ内部には電子回路を含まないため、プローブの構造がシンプルで、よりコンパクトなプローブにすることができます。また、真空中のアプリケーションに対応するプローブも制作可能ですので、様々な装置への組み込み用として御使用いただけます。 |
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| 要求精度・測定レンジ・電極径等を考慮してプローブを選択します。 |
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| 標準プローブの型式は以下のように決定します。 |
| タイプ |
外観 |
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外径
(mm) |
プローブ長
(mm) |
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測定レンジ |
| A |
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A：ストレート |
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| R |
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R：ライトアングル |
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| ケーブルライトアングルで外径6mm,プローブ長30mm,測定レンジ250μmの場合 |
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R |
Y |
30 |
- |
250 |
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| 標準プローブ仕様 |
| 型式 |
外径 |
オフセット
(μm) |
測定レンジ
(μm) |
分解能
(nm rms) |
直線性
(%) |
ヘッド長さ
(mm) |
ケーブル
長さ
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| AX□□-30 |
4 |
10 |
30 |
0.6 |
±0.05 |
|
標準
2m |
| AX□□-50 |
10 |
50 |
1.0 |
| AX□□-100 |
10 |
100 |
2.0 |
| AY□□-50 |
6 |
10 |
50 |
1.0 |
| AY□□-100 |
10 |
100 |
2.0 |
| AY□□-250 |
25 |
250 |
10 |
| AY□□-500 |
50 |
500 |
20 |
±0.1 |
| AZ□□-500 |
12 |
50 |
500 |
10 |
±0.05 |
| AZ□□-1000 |
100 |
1000 |
20 |
±0.1 |
| RX□□-30 |
4 |
10 |
30 |
0.6 |
±0.05 |
| RX□□-50 |
10 |
50 |
1.0 |
| RX□□-100 |
10 |
100 |
2.0 |
| RY□□-50 |
6 |
10 |
50 |
1.0 |
| RY□□-100 |
10 |
100 |
2.0 |
| RY□□-250 |
25 |
250 |
10 |
| RY□□-500 |
50 |
500 |
20 |
±0.1 |
| RZ□□-500 |
12 |
50 |
500 |
10 |
±0.05 |
| RZ□□-500 |
100 |
1000 |
20 |
±0.1 |
| *表中の□□にはヘッド長さ（mm）が入ります。 |
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ケーブルについて |
●通常ケーブルの最小曲げ半径はR15です。
●強磁性材料を使用していない非磁性タイプもあります。 |
耐熱温度について |
| ●標準プローブの耐熱温度は120℃です。 |
その他特注仕様にも対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 |
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特注プローブ例 |
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■ |
PCBプローブ(異形電極、大測定面積に対応) |
■ |
高温対応プローブ(300℃以下) |
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| ■ |
曲面プローブ(R8以上の凸面に対応) |
■ |
ギャップ測定用片面/両面薄板プローブ(0.3mmギャップ以上) |
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| ■ |
真空対応プローブ |
■ |
オイルプローブ |
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