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デュアルモード３Ｄ共焦点・干渉システムカタログ（0.4MB）   PDFファイルを開くためにはAcrobatReader（無償.Ver6以上）が必要です。 こちらからダウンロードできます。 このページのトップへ ■ 顕微鏡と粗さ計を１台に集約 ■ 最小0.1nmレベルの粗さ測定 ■ 最大71°の傾斜形状測定 ■ mmオーダーの視野拡大が可能 このページのトップへ 測定例   マイクロレンズアレイ プリズム BGA Siバンプ MEMS HDD表面 このページのトップへ         共焦点モード 干渉モード 対物レンズ 5× 10× 20× 50× 100× 150× 2.5×TI 5×TI 10×Di 20×DI 50×DI 作動距離(mm) 23.5 17.3 4.5 1.0) 1.0 0.3 10.3I 9.3 7.4 4.7DI 3.4 視野(um2) 2546× 1909 1273× 955 637× 477 253× 190 123× 92 84× 63 5093× 3818 2546× 1909 1243× 932 614× 460 253× 190 水平サンプリング間隔(um) 3.32 1.66 0.83 0.33 0.17 0.11 6.64I 3.32 1.62 0.80 0.33 最大傾斜角 8.5° 14° 21° 42° 51° 71° 3.2° 5.6° 13.1° 15° 15° 高さ繰り返し精度 rms(nm)* <100 <50 <20 <4 <3 <2 PSI:<0.1nm/VSI:<10nm 光源 インテグレートハイパワーLED (470nm) XYZステージ X:112mm × Y:73mm × Z:30mm 電源 100V-120V/50-60Hz(150W) 測定ヘッド寸法 約210×340×190mm/重量約5kg *ZスキャンにClose-loopモジュールを使用し、平面ミラーを温度コントロールされた環境で測定した場合です センソファージャパンへ