トップ > 製品一覧 > 精密計測機器 > 三次元形状測定装置（共焦点顕微鏡・干渉計）

■PLu neox は、Sensofar 社が所有する共焦点と干渉のデュアルテクノロジーの特許を ベースに、従来の測定方式を高精度化させ、更に薄膜測定機能を新たに追加した多機 能型の共焦点顕微鏡です。     ■PLu2300は、ブルーLEDとCFIデュアルモード光学系を採用により干渉計と共焦点の両立に業界で始めて成功しました。顕微鏡では成し得なかったナノレベルの面粗さ測定を可能とし、更に多様な対物レンズとの組み合わせで、面粗さ測定と形状測定の両方を高精度に測定します