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特徴 仕様 測定原理
高い安定性と理論上到達可能な分解能の限界まで達した世界最高水準の光電式2軸オートコリメータです。広い測定レンジを持ち、小径反射鏡(5mm)迄の測定が可能です。
PDF デュアルモード3D共焦点・干渉システムカタログ(0.4MB)
 
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特徴

顕微鏡と粗さ計を1台に集約 最小0.1nmレベルの粗さ測定
最大71°の傾斜形状測定 mmオーダーの視野拡大が可能
測定例
 
マイクロレンズアレイ プリズム BGA
Siバンプ MEMS HDD表面
仕様
     
  共焦点モード 干渉モード
対物レンズ
10× 20× 50× 100× 150×
2.5×TI 5×TI 10×Di 20×DI 50×DI
作動距離(mm)
23.5 17.3 4.5 1.0) 1.0 0.3
10.3I 9.3 7.4 4.7DI 3.4
視野(um2)
2546×
1909
1273×
955
637×
477
253×
190
123×
92
84×
63
5093×
3818
2546×
1909
1243×
932
614×
460
253×
190
水平サンプリング間隔(um)

3.32

1.66 0.83 0.33 0.17 0.11
6.64I 3.32 1.62 0.80 0.33
最大傾斜角
8.5° 14° 21° 42° 51° 71°
3.2° 5.6° 13.1° 15° 15°
高さ繰り返し精度
rms(nm)*
<100 <50 <20 <4 <3 <2
PSI:<0.1nm/VSI:<10nm
光源 インテグレートハイパワーLED (470nm)
XYZステージ X:112mm × Y:73mm × Z:30mm
電源 100V-120V/50-60Hz(150W)
測定ヘッド寸法

約210×340×190mm/重量約5kg

*ZスキャンにClose-loopモジュールを使用し、平面ミラーを温度コントロールされた環境で測定した場合です
 
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