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精密計測機器

PS-1

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特徴 仕様 アプリケーション センサプローブ 測定原理 カタログPDF
PSセンサは、独自の技術による静電容量測定方式を採用し、高安定・高分解能(フルスケールの±0.05%)、汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられコストパフォーマンスを追及した汎用型変位計として高い評価を得ております。研究開発分野kら半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を得ております。
AC100Vで動作し、出力オフセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。Dタイプは変位/電圧表示切替機能付き表示器が内蔵されており、研究開発用途に最適な1台です。
PDF PSセンサ総合カタログ(4.2MB)
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特徴

 RoHS指令対応  鉛フリー
 導体であれば材質により感度が変わらない  表面粗さの影響を受けない
 高精度・高安定  センサ形状の柔軟性
 出力オフセット機能  豊富なオプション

仕様

形式 PS-IA PS-ID
測定レンジ 各プローブ欄をご参照下さい
出力 0-10V
周波数特性 DC-100Hz
DC-1kHz
分解能 各プローブ欄をご参照下さい
ノイズレベル DC-100Hz時:0.1mVrms以下
DC-1kHz時:0.2mVrms以下
表示器 なし 4・1/2桁LED表示機
(電圧・変位切替表示)
使用温度範囲 10-40℃(アンプ)
電源 AC100V(50/60Hz)
重量 0.94kg 1.9kg

アプリケーション

アプリケーション例
ディスクランナウト測定:   厚み,平面度測定:
 
ステージ移動量測定
位置決め制御:
  ピエゾ素子の閉ループ制御:
 
ブレーキの磨耗試験測定:   ウェハーの厚み
平面度測定:
 
 
狭ギャップ測定:   リング形状面の測定:
 

測定原理

 
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