製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
ＰＳ－Ⅰ
ＰＳ－Ⅲ
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ＡＴＯＰＳ
ナノセンサ
ＰＭ－Ｅ
ＰＭ－Ｓ
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OＴＦ測定装置
OＴＦ検査装置
OＴＦ測定サービス
ウェーハＩＤ読みとり光学系
MIEZOH MARKⅢ
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
形式
PS-IA
PS-ID
解能(p-p値）
3mVpp（0.6mVrms）
表示器
なし
4・1/2桁LED表示器
（電圧・変位切換表示）
LED表示
NEAR/FAR警告表示
出力電圧
0-10V
直線性
±0.05%/FS(typ.),±0.2%/FS(max.)
応答周波数
1kHz(-3dB,4次バタワース）
出力インピーダンス
100Ω
電源
AC100±10V（50/60Hz）
寸法(mm)
120W×40H×200D
120W×120H×200D
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