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 製品ラインナップ |
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| PSセンサは、独自の技術による静電容量測定方式を採用し、 高安定・高分解能（フルスケールの±0.05％）、汎用性を実現した超精密非接触変位計です。 変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられコストパフォーマンスを追究した汎用 型変位計として高い評価を得ております。 研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能 ツールとして多くの実績を得ております。 本機は、ユニットの増設、メンテナンスが容易マルチチャンネルシステムです。 |
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