PSセンサは、右図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。 静電容量をC、プローブと測定物間の誘電率をK、距離をD、プローブの検出面積をAとするとその関係はC=K(A/D)の計算式で表すことができます。 PSセンサでは、ガードリング方式を採用することにより、生出力で安定した直線性のある検出能力を得ています。