製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
ＰＳ－Ⅰ
ＰＳ－Ⅲ
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ＡＴＯＰＳ
ナノセンサ
ＰＭ－Ｅ
ＰＭ－Ｓ
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OＴＦ測定装置
OＴＦ検査装置
OＴＦ測定サービス
ウェーハＩＤ読みとり光学系
MIEZOH MARKⅢ
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
各種ディスクの厚み・平面度測定
ブレーキの磨耗試験
精密モータのランアウト測定
エアレーション計測
特殊モータの浮上量測定
油圧・空圧の計測
スピンドルのランアウト測定
隙間測定（薄膜プローブ）対応
半導体マスクのアライメント
真空内の変位計測
ピエゾ素子の閉ループ制御
熱変位計測システム
位置決め制御（nmレベル）
etc
アプリケーション例：
ガラス表面形状測定システム
ディスク測定システム
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