製品ラインナップ
静電容量方式
非接触微小変位計
ＰＳ－Ⅰ
ＰＳ－Ⅲ
光ファイバー方式
非接触レーザー変位計
ＡＴＯＰＳ
ナノセンサ
ＰＭ－Ｅ
ＰＭ－Ｓ
微小位置決めシステム
ピエゾサーボステージ
レンズ評価装置
OＴＦ測定装置
OＴＦ検査装置
OＴＦ測定サービス
ウェーハＩＤ読みとり光学系
MIEZOH MARKⅢ
情報通信装置
高速データ伝送装置
画像伝送装置
アライメントシステム
オ-トコリメ-タ(光電式)
オ-トコリメ-タ(目視式)
アライメントコリメ-タ
アライメントテレスコ-プ
検針器
ハンディタイプ検針器
形式
PS-1K
PS-100
解能(p-p値）
3mVpp（0.6mVrms）
1mVpp（0.2mVrms）
出力電圧
0-10V
直線性
±0.05％/FS（typ.）,±0.2％/FS（max.）
応答周波数
1kHz（-3dB,4次バタワース）
100Hz（-3dB,4次バタワース）
出力インピーダンス
100Ω
オプション
オフセット機能
型式
PS-III-3N
PS-III-2D
PS-III-5N
PS-III-4D
電源
AC100±10V(50/60Hz)
出力端子
BNC×3
BNC×2
BNC×5
BNC×4
寸法（mm）
186W×156H×316D
257W×156H×316D
表示器
なし
あり
なし
あり
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